Filtry powietrza dla przemysłu półprzewodnikowego

Kurz przylegający do układów scalonych może powodować rozłączenia i zwarcia, a kurz bezpośrednio wpływa na wydajność produktu. Obecnie przemysł półprzewodników (fabryki chipów) jest najbardziej wymagający pod względem czystości powietrza w środowiskach produkcyjnych, a także ma najsurowsze wymagania dotyczące filtrów powietrza.

Tradycyjną formą wentylacji w fabryce wiórów jest „duży obieg”, w którym cały sufit warsztatu pokryty jest filtrami HEPA, a całą podłogę stanowi kratka powietrza powrotnego. Obecnie niektóre warsztaty w fabrykach chipów wykorzystują FFU („Fan Filter Units”), które są wyposażone we własne wentylatory, a oba typy o dużym nakładzie i FFU są w stanie osiągnąć wystarczającą czystość, z jedynie pewnymi różnicami w zarządzaniu pracą i zużycie energii.

Zarówno filtry HEPA, jak i FFU są skanowane i testowane jednostka po jednostce przed opuszczeniem fabryki.

Cząsteczki soli morskiej unoszące się w powietrzu są największym wrogiem całego przemysłu elektronicznego, ale pył soli morskiej unoszący się w powietrzu zawiera stosunkowo duże cząstki, które można odfiltrować za pomocą zwykłych filtrów. Obszary przybrzeżne są rozwinięte gospodarczo i niektóre gałęzie przemysłu elektronicznego decydują się na lokowanie tam swoich zakładów, co wiąże się z koniecznością wydania nieco większych środków na filtry.

Dzisiejsza technologia filtracji może zmniejszyć stężenie pyłu w pomieszczeniu czystym niemal do zera, tak czysto, jak chcesz. Gdy szerokość linii na chipie jest tak mała jak 0,5 μm, zanieczyszczenia chemiczne w powietrzu stają się głównym zagrożeniem dla plonu. W rezultacie filtry chemiczne są powszechnie wymagane w systemach klimatyzacyjnych fabryk chipów o szerokości linii mniejszej niż 0,5 μm. Zasada i proces produkcji filtrów chemicznych nie jest skomplikowany, jest to filtr z węglem aktywnym.

Źródłami zanieczyszczeń chemicznych mogą być: powietrze zewnętrzne, sam proces, ludzie i materiały dekoracyjne. W większości przypadków projektanci i personel budowy nie są w stanie określić rodzaju i stężenia substancji zanieczyszczających. Dlatego stosowane filtry chemiczne powinny charakteryzować się co najmniej dwiema cechami: właściwościami adsorpcyjnymi o szerokim spektrum działania i wystarczającą ilością materiału z węglem aktywnym. Adsorpcja o szerokim spektrum oznacza, że ​​może zaadsorbować wszystko, a materiałem mogącym pełnić taką funkcję jest najpopularniejszy i najtańszy granulowany węgiel aktywny. Jeśli można zidentyfikować rodzaj substancji zanieczyszczającej, materiał z węglem aktywnym można poddać ukierunkowanej obróbce chemicznej w celu zwiększenia zdolności adsorpcji określonych substancji zanieczyszczających.

Przemysł półprzewodników nie jest „przemysłem bezdymnym”, jak się powszechnie uważa, i boryka się z problemami środowiskowymi. Ponieważ często stosowane są najnowocześniejsze procesy i materiały, niektóre chemikalia są stosowane w dużych ilościach, zanim zostanie ocenione ich bezpieczeństwo, a najmniejsza nieostrożność może doprowadzić do poważnych skażeń chemicznych, zarówno wód gruntowych, jak i powietrza. Ze względów bezpieczeństwa niektóre firmy w swoich instalacjach powietrza wywiewanego stosują również filtry chemiczne.